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EP2742167 - Informations bibliographiques
Dernière mise à jour | 04/04/2022 |
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Statut légal | Brevet déchu |
Origine | Euro-PCT |
(73)Titulaire |
Nederlandse Organisatie voor toegepast-
natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage Pays-Bas |
(72)Inventeurs |
Raymond Jacobus Wilhelmus KNAAPEN NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
Ruud OLIESLAGERS NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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Dennis VAN DEN BERG NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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Matijs C. VAN DEN BOER NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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Diederik Jan MAAS NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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Jacques Cor Johan VAN DER DONCK NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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Freddy ROOZEBOOM NL-2628 VK Delft Pays-Bas |
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(74)Mandataire |
Destinataire courrier V.O. P.O. Box 87930 2508 DH Den Haag Pays-Bas |
(21)Numéro de la demande | EP12748571.2 |
(22)Date de la demande | 30/07/2012 |
(11)Numéro de publication | EP2742167 |
Date de délivrance | 17/10/2018 |
(54)Titre de l'invention | PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR LE DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES SUR UN SUBSTRAT |
(51)Classification internationale | C23C 16/44, C23C 16/52, C23C 16/54, C23C 16/455, C23C 16/458, C23C 16/52, C23C 16/54, C23C 16/455, C23C 16/458 |
Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
Priorité revendiquée |
(31) Nombre: 11177166 (32) Date: 10/08/2011 (33) Pays: EP |
Demande initiale | Aucun(e) |
Demande divisionnaire | Aucun(e) |
Annuité attendue |
Annuité: 8 - Montant: 135€ - Date d'échéance 31/07/2019 Surtaxe: 8 - Montant: 27€ - Date d'échéance 03/02/2020 |
Dernière annuité | Aucun(e) |
Publication | Aucun(e) |
Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 17/10/2018 |
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/08/2019 | |
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 31/07/2019 |