EP2742167 - Informations bibliographiques

Dernière mise à jour 04/04/2022
Statut légal Brevet déchu
Origine Euro-PCT
(73)Titulaire Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Anna van Buerenplein 1
2595 DA 's-Gravenhage
Pays-Bas
(72)Inventeurs Raymond Jacobus Wilhelmus KNAAPEN
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Ruud OLIESLAGERS
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Dennis VAN DEN BERG
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Matijs C. VAN DEN BOER
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Diederik Jan MAAS
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Jacques Cor Johan VAN DER DONCK
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
Freddy ROOZEBOOM
NL-2628 VK Delft
Pays-Bas
(74)Mandataire Destinataire courrier
V.O.
P.O. Box 87930
2508 DH Den Haag
Pays-Bas
(21)Numéro de la demande EP12748571.2
(22)Date de la demande 30/07/2012
(11)Numéro de publication EP2742167
Date de délivrance 17/10/2018
(54)Titre de l'invention PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR LE DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES SUR UN SUBSTRAT
(51)Classification internationale C23C 16/44, C23C 16/52, C23C 16/54, C23C 16/455, C23C 16/458, C23C 16/52, C23C 16/54, C23C 16/455, C23C 16/458
Classification internationale (avant réforme) Aucun(e)
Priorité revendiquée (31) Nombre: 11177166
(32) Date: 10/08/2011
(33) Pays: EP
Demande initiale Aucun(e)
Demande divisionnaire Aucun(e)
Annuité attendue Annuité: 8 - Montant: 135€ - Date d'échéance 31/07/2019
Surtaxe: 8 - Montant: 27€ - Date d'échéance 03/02/2020
Dernière annuité Aucun(e)
Publication Aucun(e)
Historique Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 17/10/2018
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/08/2019
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 31/07/2019