EP2818526 - Informations bibliographiques

Dernière mise à jour 07/04/2022
Statut légal Brevet déchu
Origine Européen
(73)Titulaire AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
7201 Hamilton Boulevard
Allentown, PA 18195-1501
États-Unis d'Amérique
(72)Inventeurs Xiaobo Shi
Chandler, AZ Arizona 85224
États-Unis d'Amérique
Krishna P. Murella
Phoenix, AZ Arizona 85044
États-Unis d'Amérique
James Allen Schlueter
Phoenix, AZ Arizona 85045
États-Unis d'Amérique
Jae Ouk Choo
Chandler, AZ Arizona 85249
États-Unis d'Amérique
(74)Mandataire Destinataire courrier
Beck Greener LLP
Fulwood House 12 Fulwood Place
London WC1V 6HR
Royaume-Uni
(21)Numéro de la demande EP14174709.7
(22)Date de la demande 27/06/2014
(11)Numéro de publication EP2818526
Date de délivrance 22/06/2016
(54)Titre de l'invention Compositions de pâte de polissage chimique mécanique et procédé d'utilisation de celui-ci pour des applications d'interconnexion et de cuivre
(51)Classification internationale C09G 1/02, H01L 21/321, C09K 3/14, H01L 21/321, C09K 3/14
Classification internationale (avant réforme) Aucun(e)
Priorité revendiquée (31) Nombre: 201313929346
(32) Date: 27/06/2013
(33) Pays: US
Demande initiale Aucun(e)
Demande divisionnaire Aucun(e)
Annuité attendue Annuité: 3 - Montant: 32€ - Date d'échéance 22/08/2016
Surtaxe: 3 - Montant: 6.4€ - Date d'échéance 23/02/2017
Dernière annuité Aucun(e)
Publication BREVETS D'INVENTION DESIGNANT MC DELIVRES PAR l'OEB - bulletin 2016/30, du 29/07/2016
Historique Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 22/06/2016
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 23/08/2016
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 22/08/2016