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EP2818526 - Informations bibliographiques
Dernière mise à jour | 07/04/2022 |
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Statut légal | Brevet déchu |
Origine | Européen |
(73)Titulaire |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 7201 Hamilton Boulevard Allentown, PA 18195-1501 États-Unis d'Amérique |
(72)Inventeurs |
Xiaobo Shi Chandler, AZ Arizona 85224 États-Unis d'Amérique |
Krishna P. Murella Phoenix, AZ Arizona 85044 États-Unis d'Amérique |
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James Allen Schlueter Phoenix, AZ Arizona 85045 États-Unis d'Amérique |
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Jae Ouk Choo Chandler, AZ Arizona 85249 États-Unis d'Amérique |
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(74)Mandataire |
Destinataire courrier Beck Greener LLP Fulwood House 12 Fulwood Place London WC1V 6HR Royaume-Uni |
(21)Numéro de la demande | EP14174709.7 |
(22)Date de la demande | 27/06/2014 |
(11)Numéro de publication | EP2818526 |
Date de délivrance | 22/06/2016 |
(54)Titre de l'invention | Compositions de pâte de polissage chimique mécanique et procédé d'utilisation de celui-ci pour des applications d'interconnexion et de cuivre |
(51)Classification internationale | C09G 1/02, H01L 21/321, C09K 3/14, H01L 21/321, C09K 3/14 |
Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
Priorité revendiquée |
(31) Nombre: 201313929346 (32) Date: 27/06/2013 (33) Pays: US |
Demande initiale | Aucun(e) |
Demande divisionnaire | Aucun(e) |
Annuité attendue |
Annuité: 3 - Montant: 32€ - Date d'échéance 22/08/2016 Surtaxe: 3 - Montant: 6.4€ - Date d'échéance 23/02/2017 |
Dernière annuité | Aucun(e) |
Publication | BREVETS D'INVENTION DESIGNANT MC DELIVRES PAR l'OEB - bulletin 2016/30, du 29/07/2016 |
Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 22/06/2016 |
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 23/08/2016 | |
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 22/08/2016 |