EP2287894 - Bibliographic data
Appareil d'exposition, méthode d'exposition et procédé de fabrication d'un dispositif
| Last update | 31/05/2025 |
|---|---|
| Legal status | Brevet déchu |
| Origin | Européen |
| (73) Holder |
Nikon Corporation 15-3, Konan 2-chome
Minato-ku
Tokyo 108-6290
Japon
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|---|---|
| (72) Inventors |
Yuichi Shibazaki c/o Nikon Corporation
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyodaku
Tokyo 100-8331
Japon
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| (74) Agent |
Mail recipient Hoffmann Eitle Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München
Allemagne
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| (21) Request number | EP10186147.4 |
|---|---|
| (22) Request date | 27/01/2005 |
| (11) Publication number | EP2287894 |
|---|---|
| Publication date | 28/09/2016 |
| (54) Title of the invention | Appareil d'exposition, méthode d'exposition et procédé de fabrication d'un dispositif |
|---|---|
| (51) International classification | H01L 21/027, G03F 7/20 |
| International classification (before reform) | None |
| Claimed priority |
(31) Number: 2004025837 |
|---|---|
| Initial application | None |
| Divisional application | None |
| Expected annuity |
Annuity: 13 -
Amount: 225 € -
Due date 31/01/2017
Surtax: 13 - Amount: 45 € - Due date 01/08/2017 |
|---|---|
| Last annuity | None |
| Publication | None |
|---|---|
| History | Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 28/09/2016 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 01/02/2017 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 31/01/2017 |