EP3268505 - Bibliographic data
PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ
| Last update | 30/05/2025 |
|---|---|
| Legal status | Brevet déchu |
| Origin | Euro-PCT |
| (73) Holder |
Exogenesis Corporation 20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
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|---|---|
| (72) Inventors |
Sean KIRKPATRICK c/o Exogenesis Corporation
20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
Richard SVRLUGA c/o Exogenesis Corporation
20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
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| (74) Agent |
Mail recipient FRKelly Waterways House
Grand Canal Quay
Dublin D02 PD39
Irlande
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| (21) Request number | EP16762616.7 |
|---|---|
| (22) Request date | 11/03/2016 |
| (11) Publication number | EP3268505 |
|---|---|
| Publication date | 04/05/2022 |
| (54) Title of the invention | PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ |
|---|---|
| (51) International classification | H01L 21/033, H01L 21/02, C23C 14/00 |
| International classification (before reform) | None |
| Claimed priority |
(31) Number: 201562131669 P |
|---|---|
| Initial application | None |
| Divisional application | None |
| Expected annuity |
Annuity: 8 -
Amount: 150 € -
Due date 31/03/2023
Surtax: 8 - Amount: 30 € - Due date 02/10/2023 |
|---|---|
| Last annuity | None |
| Publication | None |
|---|---|
| History | Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 04/05/2022 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 01/04/2023 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 31/03/2023 |