EP2599892 - Bibliographic data
CIBLE ET/OU BOBINE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE, ET LEUR PROCÉDÉ DE FABRICATION
Last update | 09/06/2025 |
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Legal status | Brevet déchu |
Origin | Euro-PCT |
(73) Holder |
JX Nippon Mining & Metals Corporation 10-4, Toranomon 2-chome
Minato-ku
Tokyo 105-8417
Japon
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(72) Inventors |
NAGATA Kenichi c/o Isohara Factory of JX Nippon Mining & Metals
Corporation
187-4, Usuba
Hanakawa-cho
Kitaibaraki-shi
Ibaraki 319-1535
Japon
MAKINO Nobuhito c/o Isohara Factory of JX Nippon Mining & Metals
Corporation
187-4, Usuba
Hanakawa-cho
Kitaibaraki-shi
Ibaraki 319-1535
Japon
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(74) Agent |
Mail recipient Liesegang, Eva Boehmert & Boehmert
Anwaltspartnerschaft mbB
Pettenkoferstrasse 22
80336 München
Allemagne
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(21) Request number | EP11812510.3 |
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(22) Request date | 27/07/2011 |
(11) Publication number | EP2599892 |
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Publication date | 14/10/2020 |
(54) Title of the invention | CIBLE ET/OU BOBINE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE, ET LEUR PROCÉDÉ DE FABRICATION |
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(51) International classification | C21D 1/74, C23C 14/34, H01J 37/34, C21D 3/06, C22C 14/00, C22C 27/02, C22F 1/00, C22F 1/18 |
International classification (before reform) | None |
Claimed priority |
(31) Number: 2010172408 |
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Initial application | None |
Divisional application | None |
Expected annuity |
Annuity: 11 -
Amount: 210 € -
Due date 02/08/2021
Surtax: 11 - Amount: 42 € - Due date 03/02/2022 |
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Last annuity | None |
Publication | None |
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History | Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 14/10/2020 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 03/08/2021 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 02/08/2021 |