EP2599892 - Informations bibliographiques
CIBLE ET/OU BOBINE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE, ET LEUR PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernière mise à jour | 09/06/2025 |
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Statut légal | Brevet déchu |
Origine | Euro-PCT |
(73) Titulaire |
JX Nippon Mining & Metals Corporation 10-4, Toranomon 2-chome
Minato-ku
Tokyo 105-8417
Japon
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(72) Inventeurs |
NAGATA Kenichi c/o Isohara Factory of JX Nippon Mining & Metals
Corporation
187-4, Usuba
Hanakawa-cho
Kitaibaraki-shi
Ibaraki 319-1535
Japon
MAKINO Nobuhito c/o Isohara Factory of JX Nippon Mining & Metals
Corporation
187-4, Usuba
Hanakawa-cho
Kitaibaraki-shi
Ibaraki 319-1535
Japon
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(74) Mandataire |
Destinataire du courriel Liesegang, Eva Boehmert & Boehmert
Anwaltspartnerschaft mbB
Pettenkoferstrasse 22
80336 München
Allemagne
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(21) Numéro de la demande | EP11812510.3 |
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(22) Date de dépôt de la demande | 27/07/2011 |
(11) Numéro de publication | EP2599892 |
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Date de délivrance | 14/10/2020 |
(54) Titre de l'invention | CIBLE ET/OU BOBINE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE, ET LEUR PROCÉDÉ DE FABRICATION |
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(51) Classification internationale | C21D 1/74, C23C 14/34, H01J 37/34, C21D 3/06, C22C 14/00, C22C 27/02, C22F 1/00, C22F 1/18 |
Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
Priorité revendiquée |
(31) Nombre : 2010172408 |
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Demande initiale | Aucun(e) |
Demande divisionnaire | Aucun(e) |
Annuité attendue |
Annuité : 11 -
Montant : 210 € -
Date d'échéance 02/08/2021
Surtaxe : 11 - Montant : 42 € - Date d'échéance 03/02/2022 |
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Dernière annuité | Aucun(e) |
Publication | Aucun(e) |
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Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 14/10/2020 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 03/08/2021 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 02/08/2021 |