EP3440511 - Bibliographic data

AMÉLIORATION DE COMPATIBILITÉ DE TRAITEMENT PAR MODULATION DE FACTEUR DE REMPLISSAGE

Last update 06/07/2025
Legal status Brevet déchu
Origin Euro-PCT
(73) Holder

KLA-Tencor Corporation

One Technology Drive
Milpitas, California 95035
États-Unis d'Amérique
(72) Inventors

Vladimir LEVINSKI

Hermon 9
23100 Migdal HaEmek
Israël

Eitan HAJAJ

46A/5 Shalom Aleichem Street
61000 Tel Aviv
Israël

Tal ITZKOVICH

Kfar Uriya 10
99735 Kfar Uriya
Israël

Sharon AHARON

Yuval 40
1796000 Hanaton
Israël

Michael E. ADEL

14 Yigal Alon Street
30900 Ya'akov Zichron
Israël

Yuri PASKOVER

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
États-Unis d'Amérique

Daria NEGRI

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Yuval LUBASHEVSKY

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Amnon MANASSEN

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Myungjun LEE

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Mark D SMITH

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne
(74) Agent

Mail recipient

FRKelly

Waterways House Grand Canal Quay
Dublin D02 PD39
Irlande
(21) Request number EP16898139.7
(22) Request date 04/11/2016
(11) Publication number EP3440511
Publication date 06/03/2024
(54) Title of the invention AMÉLIORATION DE COMPATIBILITÉ DE TRAITEMENT PAR MODULATION DE FACTEUR DE REMPLISSAGE
(51) International classification G03F 7/20, G03F 7/00, H01L 21/027, H01L 21/66
International classification (before reform) None
Claimed priority

(31) Number: 201662318086 P
(32) Date: 04/04/2016
(33) Country: US

Initial application None
Divisional application None
Expected annuity Annuity: 9 - Amount: 175 € - Due date 02/12/2024
Surtax: 9 - Amount: 35 € - Due date 03/06/2025
Last annuity None
Publication None
History

Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 06/03/2024

Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 03/12/2024

Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 02/12/2024