EP3440511 - Informations bibliographiques

AMÉLIORATION DE COMPATIBILITÉ DE TRAITEMENT PAR MODULATION DE FACTEUR DE REMPLISSAGE

Dernière mise à jour 06/07/2025
Statut légal Brevet déchu
Origine Euro-PCT
(73) Titulaire

KLA-Tencor Corporation

One Technology Drive
Milpitas, California 95035
États-Unis d'Amérique
(72) Inventeurs

Vladimir LEVINSKI

Hermon 9
23100 Migdal HaEmek
Israël

Eitan HAJAJ

46A/5 Shalom Aleichem Street
61000 Tel Aviv
Israël

Tal ITZKOVICH

Kfar Uriya 10
99735 Kfar Uriya
Israël

Sharon AHARON

Yuval 40
1796000 Hanaton
Israël

Michael E. ADEL

14 Yigal Alon Street
30900 Ya'akov Zichron
Israël

Yuri PASKOVER

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
États-Unis d'Amérique

Daria NEGRI

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Yuval LUBASHEVSKY

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Amnon MANASSEN

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Myungjun LEE

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne

Mark D SMITH

C/O KLA-Tencor Corporation One Technology Drive
Milipitas, CA 95035
Allemagne
(74) Mandataire

Destinataire du courriel

FRKelly

Waterways House Grand Canal Quay
Dublin D02 PD39
Irlande
(21) Numéro de la demande EP16898139.7
(22) Date de dépôt de la demande 04/11/2016
(11) Numéro de publication EP3440511
Date de délivrance 06/03/2024
(54) Titre de l'invention AMÉLIORATION DE COMPATIBILITÉ DE TRAITEMENT PAR MODULATION DE FACTEUR DE REMPLISSAGE
(51) Classification internationale G03F 7/20, G03F 7/00, H01L 21/027, H01L 21/66
Classification internationale (avant réforme) Aucun(e)
Priorité revendiquée

(31) Nombre : 201662318086 P
(32) Date : 04/04/2016
(33) Pays : US

Demande initiale Aucun(e)
Demande divisionnaire Aucun(e)
Annuité attendue Annuité : 9 - Montant : 175 € - Date d'échéance 02/12/2024
Surtaxe : 9 - Montant : 35 € - Date d'échéance 03/06/2025
Dernière annuité Aucun(e)
Publication Aucun(e)
Historique

Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 06/03/2024

Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 03/12/2024

Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 02/12/2024