EP2818526 - Bibliographic data

Last update 04/07/2022
Legal status Brevet déchu
Origin Européen
(73)Owner AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
7201 Hamilton Boulevard
Allentown, PA 18195-1501
États-Unis d'Amérique
(72)Inventors Xiaobo Shi
Chandler, AZ Arizona 85224
États-Unis d'Amérique
Krishna P. Murella
Phoenix, AZ Arizona 85044
États-Unis d'Amérique
James Allen Schlueter
Phoenix, AZ Arizona 85045
États-Unis d'Amérique
Jae Ouk Choo
Chandler, AZ Arizona 85249
États-Unis d'Amérique
(74)Agent Mail recipient
Beck Greener LLP
Fulwood House 12 Fulwood Place
London WC1V 6HR
Royaume-Uni
(21)Application number EP14174709.7
(22)Application date 06/27/2014
(11)Publication number EP2818526
Grant date 06/22/2016
(54)Invention title Compositions de pâte de polissage chimique mécanique et procédé d'utilisation de celui-ci pour des applications d'interconnexion et de cuivre
(51)International classification C09G 1/02, H01L 21/321, C09K 3/14, H01L 21/321, C09K 3/14
International classification (before reform) None
Claimed priority (31) Number: 201313929346
(32) Date: 06/27/2013
(33) Country: US
Initial application None
Divisional applications None
Expected annuity Annuity: 3 - Amount: 32€ - Due date 08/22/2016
Surtax: 3 - Amount: 6.4€ - Due date 02/23/2017
Last annuity None
Publication BREVETS D'INVENTION DESIGNANT MC DELIVRES PAR l'OEB - bulletin 2016/30, of 07/29/2016
History Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 06/22/2016
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 08/23/2016
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 08/22/2016