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EP2818526 - Bibliographic data
Last update | 04/07/2022 |
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Legal status | Brevet déchu |
Origin | Européen |
(73)Owner |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 7201 Hamilton Boulevard Allentown, PA 18195-1501 États-Unis d'Amérique |
(72)Inventors |
Xiaobo Shi Chandler, AZ Arizona 85224 États-Unis d'Amérique |
Krishna P. Murella Phoenix, AZ Arizona 85044 États-Unis d'Amérique |
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James Allen Schlueter Phoenix, AZ Arizona 85045 États-Unis d'Amérique |
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Jae Ouk Choo Chandler, AZ Arizona 85249 États-Unis d'Amérique |
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(74)Agent |
Mail recipient Beck Greener LLP Fulwood House 12 Fulwood Place London WC1V 6HR Royaume-Uni |
(21)Application number | EP14174709.7 |
(22)Application date | 06/27/2014 |
(11)Publication number | EP2818526 |
Grant date | 06/22/2016 |
(54)Invention title | Compositions de pâte de polissage chimique mécanique et procédé d'utilisation de celui-ci pour des applications d'interconnexion et de cuivre |
(51)International classification | C09G 1/02, H01L 21/321, C09K 3/14, H01L 21/321, C09K 3/14 |
International classification (before reform) | None |
Claimed priority |
(31) Number: 201313929346 (32) Date: 06/27/2013 (33) Country: US |
Initial application | None |
Divisional applications | None |
Expected annuity |
Annuity: 3 - Amount: 32€ - Due date 08/22/2016 Surtax: 3 - Amount: 6.4€ - Due date 02/23/2017 |
Last annuity | None |
Publication | BREVETS D'INVENTION DESIGNANT MC DELIVRES PAR l'OEB - bulletin 2016/30, of 07/29/2016 |
History | Publication de la délivrance du brevet européen - Legal date 06/22/2016 |
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Legal date 08/23/2016 | |
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Legal date 08/22/2016 |