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EP2304769 - Informations bibliographiques
Dernière mise à jour | 01/04/2022 |
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Statut légal | Brevet déchu |
Origine | Euro-PCT |
(73)Titulaire |
AES MOTOMATION GMBH Nikolaus-Otto-Strasse 8 40670 Meerbusch Allemagne |
(72)Inventeurs |
Andreas HERTGENS 41352 Korschenbroich Allemagne |
Torsten MUELLER 47647 Kerken Allemagne |
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Paul WALTNER 40670 Meerbusch Allemagne |
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(74)Mandataire |
Destinataire courrier COHAUSZ HANNIG BORKOWSKI WIßGOTT Patent- und Rechtsanwaltskanzlei Schumannstrasse 97-99 40237 Düsseldorf Allemagne |
(21)Numéro de la demande | EP10714188.9 |
(22)Date de la demande | 09/04/2010 |
(11)Numéro de publication | EP2304769 |
Date de délivrance | 27/11/2013 |
(54)Titre de l'invention | PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D'OBJETS DANS UN SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN DE SUPPORTS DE CAPTEURS ET D'UN SUPPORT DE CAPTEUR ASSOCIÉ |
(51)Classification internationale | H01L 21/67, H01L 21/68, H01L 21/68 |
Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
Priorité revendiquée |
(31) Nombre: 102009016811 (32) Date: 09/04/2009 (33) Pays: DE |
Demande initiale | Aucun(e) |
Demande divisionnaire | Aucun(e) |
Annuité attendue |
Annuité: 5 - Montant: 55€ - Date d'échéance 30/04/2014 Surtaxe: 5 - Montant: 11€ - Date d'échéance 03/11/2014 |
Dernière annuité | Aucun(e) |
Publication | BREVETS D'INVENTION DESIGNANT MC DELIVRES PAR l'OEB - bulletin 2013/4, du 31/01/2014 |
Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 27/11/2013 |
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/05/2014 | |
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 30/04/2014 |