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EP2462486 - Informations bibliographiques
Dernière mise à jour | 10/04/2022 |
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Statut légal | Brevet déchu |
Origine | Euro-PCT |
(73)Titulaire |
ASML Netherlands BV De Run 6501 5504 DR Veldhoven Pays-Bas |
(72)Inventeurs |
Vitalii IVANOV PL-02-790 Warsaw Pologne |
Arie DEN BOEF NL-5581 NA Waalre Pays-Bas |
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Vadim BANINE NL-5751 SB Deurne Pays-Bas |
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Luigi SCACCABAROZZI NL-5554 KD Valkenswaard Pays-Bas |
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Nikolay IOSAD NL-5663 RH Geldrop Pays-Bas |
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(74)Mandataire |
Destinataire courrier ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven Pays-Bas |
(21)Numéro de la demande | EP10728666.8 |
(22)Date de la demande | 02/07/2010 |
(11)Numéro de publication | EP2462486 |
Date de délivrance | 15/04/2020 |
(54)Titre de l'invention | PROCÉDÉS ET SYSTEMES POUR L'INSPECTION D'OBJETS |
(51)Classification internationale | G03F 1/00, G03F 1/84, G01N 21/65, G01N 21/94, G01N 21/956, G01N 21/95, G01N 21/64, G03F 1/24, G03F 1/84, G01N 21/65, G01N 21/94, G01N 21/956, G01N 21/95, G01N 21/64, G03F 1/24 |
Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
Priorité revendiquée |
(31) Nombre: 231161 P (32) Date: 04/08/2009 (33) Pays: US |
Demande initiale | Aucun(e) |
Demande divisionnaire | Aucun(e) |
Annuité attendue |
Annuité: 11 - Montant: 210€ - Date d'échéance 31/07/2020 Surtaxe: 11 - Montant: 42€ - Date d'échéance 01/02/2021 |
Dernière annuité | Aucun(e) |
Publication | Aucun(e) |
Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 15/04/2020 |
Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/08/2020 | |
Modification du mandataire OEB du brevet européen - Date légale 31/07/2020 | |
Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 31/07/2020 |