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EP2699966 - Informations bibliographiques
| Dernière mise à jour | 02/04/2022 |
|---|---|
| Statut légal | Brevet déchu |
| Origine | Euro-PCT |
| (73)Titulaire |
ASML Netherlands B.V. De Run 6501 5504 DR Veldhoven Pays-Bas |
| (72)Inventeurs |
Marcel Nicolaas Jacobus VAN KERVINCK NL-2595 BV Den Haag Pays-Bas |
|
Guido DE BOER NL-4143 LN Leerdam Pays-Bas |
|
| (74)Mandataire |
Destinataire courrier ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven Pays-Bas |
| (21)Numéro de la demande | EP12716017.4 |
| (22)Date de la demande | 23/04/2012 |
| (11)Numéro de publication | EP2699966 |
| Date de délivrance | 07/04/2021 |
| (54)Titre de l'invention | ARCHITECTURE DE RESEAU ET PROTOCOLE POUR UN CLUSTER DES APPAREILS LITHOGRAPHIQUES |
| (51)Classification internationale | G03F 7/20, H01J 37/317, H01J 37/317 |
| Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
| Priorité revendiquée |
(31) Nombre: 201161478117 P (32) Date: 22/04/2011 (33) Pays: US |
| Demande initiale | Aucun(e) |
| Demande divisionnaire | Aucun(e) |
| Annuité attendue |
Annuité: 10 - Montant: 170€ - Date d'échéance 07/06/2021 Surtaxe: 10 - Montant: 34€ - Date d'échéance 09/12/2021 |
| Dernière annuité | Aucun(e) |
| Publication | Aucun(e) |
| Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 07/04/2021 |
| Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 08/06/2021 | |
| Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 07/06/2021 |