EP2287894 - Informations bibliographiques
Appareil d'exposition, méthode d'exposition et procédé de fabrication d'un dispositif
| Dernière mise à jour | 29/05/2025 |
|---|---|
| Statut légal | Brevet déchu |
| Origine | Européen |
| (73) Titulaire |
Nikon Corporation 15-3, Konan 2-chome
Minato-ku
Tokyo 108-6290
Japon
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|---|---|
| (72) Inventeurs |
Yuichi Shibazaki c/o Nikon Corporation
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyodaku
Tokyo 100-8331
Japon
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| (74) Mandataire |
Destinataire du courriel Hoffmann Eitle Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München
Allemagne
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| (21) Numéro de la demande | EP10186147.4 |
|---|---|
| (22) Date de dépôt de la demande | 27/01/2005 |
| (11) Numéro de publication | EP2287894 |
|---|---|
| Date de délivrance | 28/09/2016 |
| (54) Titre de l'invention | Appareil d'exposition, méthode d'exposition et procédé de fabrication d'un dispositif |
|---|---|
| (51) Classification internationale | H01L 21/027, G03F 7/20 |
| Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
| Priorité revendiquée |
(31) Nombre : 2004025837 |
|---|---|
| Demande initiale | Aucun(e) |
| Demande divisionnaire | Aucun(e) |
| Annuité attendue |
Annuité : 13 -
Montant : 225 € -
Date d'échéance 31/01/2017
Surtaxe : 13 - Montant : 45 € - Date d'échéance 01/08/2017 |
|---|---|
| Dernière annuité | Aucun(e) |
| Publication | Aucun(e) |
|---|---|
| Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 28/09/2016 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/02/2017 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 31/01/2017 |