EP3268505 - Informations bibliographiques
PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ
| Dernière mise à jour | 29/05/2025 |
|---|---|
| Statut légal | Brevet déchu |
| Origine | Euro-PCT |
| (73) Titulaire |
Exogenesis Corporation 20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
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|---|---|
| (72) Inventeurs |
Sean KIRKPATRICK c/o Exogenesis Corporation
20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
Richard SVRLUGA c/o Exogenesis Corporation
20 Fortune Drive
Billerica, Massachusetts 01821
États-Unis d'Amérique
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| (74) Mandataire |
Destinataire du courriel FRKelly Waterways House
Grand Canal Quay
Dublin D02 PD39
Irlande
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| (21) Numéro de la demande | EP16762616.7 |
|---|---|
| (22) Date de dépôt de la demande | 11/03/2016 |
| (11) Numéro de publication | EP3268505 |
|---|---|
| Date de délivrance | 04/05/2022 |
| (54) Titre de l'invention | PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ |
|---|---|
| (51) Classification internationale | H01L 21/033, H01L 21/02, C23C 14/00 |
| Classification internationale (avant réforme) | Aucun(e) |
| Priorité revendiquée |
(31) Nombre : 201562131669 P |
|---|---|
| Demande initiale | Aucun(e) |
| Demande divisionnaire | Aucun(e) |
| Annuité attendue |
Annuité : 8 -
Montant : 150 € -
Date d'échéance 31/03/2023
Surtaxe : 8 - Montant : 30 € - Date d'échéance 02/10/2023 |
|---|---|
| Dernière annuité | Aucun(e) |
| Publication | Aucun(e) |
|---|---|
| Historique | Publication de la délivrance du brevet européen - Date légale 04/05/2022 Entrée en période de grâce du brevet d'invention - Date légale 01/04/2023 Déchéance du brevet d'invention après période de grâce - Date légale 31/03/2023 |